Метални материјали
1. Нерђајући челик
Нехрђајући челик је заједнички материјал који се користи у производњи већине вакуумских пумпи. Нуди високу отпорност на корозију, отпорност на корозију и био - инертност. Због својих одличних својстава материјала, вакуумске пумпе од нехрђајућег челика нуде одличну трајност и дуг радни век. Поред тога, нехрђајући челик може да ради на вишим температурама, чинећи га погодном за широк спектар окружења.
2 алуминијум легура
Алуминијумска легура је лагани материјал који се широко користи у производњи прецизних инструмената. Вакуумске пумпе за алуминијумске легуре нуде одличну трајност, чврстоћу и крутост. Међутим, због релативно лошег отпора корозије, не могу се користити за вађење корозивних гасова.
Колоидни материјали
1. Флуорокарбонски гума
Флуорокарбонски гума је уобичајено гумени материјал у вакуумским пумпама. Нуди одличну отпорност на оксидацију, киселину и алкални отпор и отпорност на хабање. Флуорокарбонски гума такође може да издржи широку флуктуацију температуре и не губи своју еластичност због промене температуре.
2 Политетрафлуороетилен
Политетрафлуороетилен је веома заједнички материјал који се користи у разним апликацијама. Као вакуумски пумп материјал показује одличну киселину и алкални отпор, отпорност на трење и не- својства за штапање.
Керамички материјали
Керамички материјали су још један заједнички материјал који се користи у вакуумским пумпама. Они нуде одличну отпорност на корозију, велику чврстоћу и високу - отпорност на температуру. Због својих јединствених својстава материјала, керамичке вакуумске пумпе се широко користе у високим - техничким индустријама, као што су производња полуводича, електронских компонената и соларних ћелија.